Функциональные тонкие пленки полученные плазменными методами

Современные технологические применения материалов обширны особенно металлов покрытых нитридными пленками. В последние годы было проведено множество исследований направленных на оптимизацию адгезии этих пленок к стальным подложкам с целью расширения области их применения. Нитридные пленки состоящие из катионов металлов особенно титана циркония хрома и алюминия представляют большой интерес в тех областях применения где требуются твердость поверхности коррозионная стойкость и прочность на сдвиг. Однако адгезия этих пленок является основным ограничением для трибологических применений требующих больших поверхностных механических усилий. В данной работе предлагается изучить методы разбавления интерфейса пленка/подложка путем: i) термически активированной диффузии или интердиффузии и ii) постепенного изменения химического состава интерфейса пленка/подложка (функциональные пленки). Были изучены пленки и интерфейсы сформированные между пленками TiN и AlN и стальными подложками AISI M2 и AISI D6.