Bilanciamento della forza e soppressione degli errori del microgiroscopio vibrante al silicio

Il microgiro ad anello vibrante è un giroscopio a ?uttuazione solida a struttura assialsimmetrica bidimensionale che si è evoluto da un giroscopio risonante emisferico tridimensionale. Partendo dall'eredità delle caratteristiche del giroscopio a risonanza emisferica come l'elevata precisione l'alta affidabilità la lunga durata e la resistenza ai sovraccarichi è compatibile con l'attuale tecnologia di elaborazione MEMS mainstream con un migliore CSWaP e con un'ampia prospettiva di applicazione. Pertanto il giroscopio ad anello vibrante è diventato uno dei punti caldi della ricerca sui giroscopi MEMS.