Élaboration des couches minces d'oxyde de zinc par spray pyrolyse

Dans ce travail le développement de plusieurs séries de films minces d'oxyde de zinc par spray pyrolyse dans différentes conditions de dépôt est démontré. Les différentes techniques utilisées (Profilomètre Diffraction des rayons X Spectrophotométrie UV-Visible Ellipsomètre à annulation et la technique des deux pointes dans une configuration coplanaire) pour étudier les propriétés structurelles optiques et électriques de ces films sont également décrites (Epaisseurs des couches Taille des grains Contraintes Indice de réfraction Largeur de la bande interdite Paramètre d'Urbach Conductivité électrique et l'énergie d'activation). Les films obtenus sont polycristallins avec une structure formée d'une seule phase hexagonale de type würtzite. L'analyse des spectres de transmittance avec la croissance de la conductivité avec la température de mesure montre qu'il est possible d'obtenir des couches minces transparentes et semiconducteurs de ZnO.