ENTWURF ANALYSE UND SYNTHESE EINES CO-GASSENSORS MIT MEMS-TECHNOLOGIE

Dieses Buch berichtet über Design Analyse und Synthese eines auf Silizium basierenden Kohlenmonoxid-Gassensors mit MEMS-Technologie. Der Schwerpunkt liegt auf der Untersuchung der Temperatur der Mikro-Heizplatte auf die Variation in der Leistung wie der Analyt ist empfindlich auf bestimmte Gas bei hohen Temperaturen. Der allgemeine Ansatz der in dieser Arbeit verfolgt wird besteht darin die Möglichkeit der Verwendung von Mikro-Heizplatten für die Gassensorik zu untersuchen. Für die Vervollständigung des Sensordesigns ist die Analyse der Temperaturverteilung in der Mikro-Heizplatte der entscheidende Teil. Zur Verwirklichung des Ziels des Buches wird ein auf Silizium basierender Kohlenmonoxid-Gassensor für chemische Messungen entworfen und simuliert. Als Sensorfilm für den Nachweis von Kohlenmonoxidgas wird ein Zinnoxidfilm verwendet. Sie wird häufig in Gassensoranwendungen eingesetzt da sie bei hohen Temperaturen empfindlich auf bestimmte Gase reagiert. Um diese hohe Betriebstemperatur zu erreichen wurde eine Mikrostruktur entwickelt die so genannte Mikro-Hotplate.