Entwurfsansatz für Stromimpulsgeber


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About The Book

Dieses Buch befasst sich mit einer Strategie zur Konzeption und Entwicklung eines Stromimpulsgebers mit einigen Neuerungen damit dieser für elektrochemische Halbleiterprozesse eingesetzt werden kann. Aufgrund der anwendungsspezifischen Anforderungen sind solche Impulsgeber auf dem Markt nicht ohne Weiteres erhältlich. Der Impulsgeber muss eine scharfe Anstiegs- und Abfallzeit im Bereich von wenigen Nanosekunden aufweisen und eine variable schmale Impulsbreite im Nanosekundenbereich ermöglichen. Dieses Buch vermittelt daher fundierte Kenntnisse in diesem Bereich und ist daher sehr nützlich.
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