Film sottili funzionali prodotti con tecniche al plasma

Le attuali applicazioni tecnologiche dei materiali sono vastissime in particolare dei metalli rivestiti con film di nitruro. Negli ultimi anni sono state condotte numerose ricerche con l'obiettivo di ottimizzare l'adesione di questi film ai substrati di acciaio al fine di ampliarne il campo di applicazione. I film di nitruro composti da cationi metallici in particolare titanio zirconio cromo e alluminio si sono dimostrati di grande interesse nelle applicazioni in cui sono richieste durezza superficiale resistenza alla corrosione e resistenza al taglio. Tuttavia l'adesione di questi film è stata la principale limitazione per le applicazioni tribologiche che richiedono un grande sforzo meccanico superficiale. Questo lavoro propone lo studio di tecniche per diluire l'interfaccia film/substrato mediante: i) diffusione o interdiffusione attivata termicamente e ii) variazione graduale della composizione chimica dell'interfaccia film-substrato (film funzionali). Sono stati studiati i film e le interfacce formate tra film di TiN e AlN e substrati di acciaio AISI M2 e AISI D6.