Filmbildung und Charakterisierung von undotiertem ZnO mittels Nebel-CVD-System

Die LED-Technologie hat ihren Ursprung in derselben Ingenieurskunst die uns Mobiltelefone Computer und alle modernen elektronischen Geräte auf Basis von Quantenphänomenen beschert hat. Die Erweiterung von Halbleiterbauelementen auf neue Verbindungen hat dem Menschen große Vorteile gebracht wie moderne optoelektronische und schnelle elektronische Kommunikationsgeräte auf Basis von Zinkoxid blauer LED usw. zeigen. Ingenieure verwenden eine blaue LED um eine fluoreszierende Chemikalie in der Glühbirne anzuregen. Diese wandelt das blaue Licht in weißes Licht um. Um diese Vorteile in realen Geräten nutzen zu können muss eine zuverlässige Technik zur Herstellung einer p-Typ-Dotierung etabliert werden. Zinkoxid hat erhebliche Vorteile darunter eine große Exzitonenbindungsenergie die sich in einer effizienten Exzitonenlaserung bei optischer Anregung zeigt. In diesem Buch wurden die optischen Eigenschaften von undotiertem Zinkoxid durch Experimente mit verschiedenen Substrattemperaturen unter Verwendung der Mist-CVD-Technik (Mist Chemical Vapor Deposition) untersucht.