Herstellung von dünnen Zinkoxidschichten durch Spraypyrolyse

In dieser Arbeit wird die Entwicklung mehrerer Serien von Zinkoxid-Dünnschichten durch Spraypyrolyse unter verschiedenen Abscheidungsbedingungen demonstriert. Die verschiedenen Techniken die zur Untersuchung der strukturellen optischen und elektrischen Eigenschaften dieser Filme verwendet wurden (Schichtdicken Korngrößen Spannungen Brechungsindex Bandlücke Urbach-Parameter elektrische Leitfähigkeit und Aktivierungsenergie) werden ebenfalls beschrieben (Profilometer Röntgenbeugung UV-Visible-Spektrophotometrie Annullierungs-Ellipsometer und die Doppelspitzentechnik in einer koplanaren Konfiguration). Die erhaltenen Filme sind polykristallin mit einer Struktur die aus einer einzigen hexagonalen Würtzit-Phase besteht. Die Analyse der Transmissionsspektren mit dem Anstieg der Leitfähigkeit mit der Messtemperatur zeigt dass es möglich ist transparente und halbleitende Dünnschichten aus ZnO zu erhalten.