Kraftwaage und Fehlerunterdrückung eines vibrierenden Silizium-Mikrogyroskops

Der Mikro-Schwingkreisel ist ein zweidimensionaler achsensymmetrischer Kreisel mit fester Fluktuation der sich aus einem dreidimensionalen halbkugelförmigen Resonanzkreisel entwickelt hat. Unter der Prämisse die Eigenschaften des halbkugelförmigen Resonanzkreisels zu übernehmen wie hohe Genauigkeit hohe Zuverlässigkeit lange Lebensdauer und Überlastungsfestigkeit ist es mit der gegenwärtigen Mainstream-MEMS-Verarbeitungstechnologie kompatibel und verfügt somit über eine bessere CSWaP und hat eine umfangreiche Anwendungsperspektive. Daher ist das Vibrationsringgyroskop zu einem der Forschungsschwerpunkte des MEMS-Gyroskops geworden.