Lithografie-Techniken

In der heutigen Zeit sind elektronische Geräte wie Mobiltelefone Computer Laptops Sensoren und viele andere Geräte für den Menschen zu einer Notwendigkeit geworden um sich zu versorgen einen angenehmen Lebensstil zu führen und Aufgaben schnell und einfach zu erledigen. Verschiedene Arten von Temperatursensoren Biosensoren Fotosensoren usw. wurden entwickelt um die Bedürfnisse der Menschen zu erfüllen. In all diesen Geräten befinden sich Chips die mit Dioden Transistoren Logikgattern und ICs hergestellt werden. Die Strukturierung des Substrats das für die weitere Entwicklung dieser Geräte verwendet wird erfolgt mit Hilfe einer Technik die als Lithographie bekannt ist. In der vorliegenden Arbeit haben wir einen Überblick über verschiedene Arten von Lithografietechniken wie optische Lithografie Extrem-Ultraviolett-Lithografie Elektronenstrahl-Lithografie Röntgenstrahl-Lithografie und Ionenstrahl-Lithografie gegeben. Die Entwicklung dieser Techniken im Laufe der Zeit und ihre Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen werden erörtert. Es wird auch auf verschiedene Belichtungswerkzeuge eingegangen die in den letzten zehn Jahren entwickelt wurden um die Auflösung der Bauelemente zu verbessern. Es werden chemisch verstärkte und nicht chemisch verstärkte Resists mit ihren Bindungen und Dicken diskutiert.