Molekularkinetische Deutung der Wirkungsweise von Diffusionspumpen

Auferund von Gültigkeitskriterien wird eezeigt daß auch auf das Problem der Diffusionspumpe gasdynamische Methoden näherungs­ weise angewandt werden können. Mit den Ergebnissen der gas­ dynamischen Theorie kann das Verhalten der Diffusionspumpe bei verschiedenen AnsaugdrUcken und teilweise verschlossenen Düsen verstanden werden. Unter Zugrundlegung der gasdynamischen Rechnung wird das Pro­ blem der tilrUckströmung und des Saugverl1ögens von Diffusions­ pumpen behandelt. Dabei wird befriedigende übereinstimmung zwischen Theorie und Experiment eefunden. 12. LITERATURVERZEICHNIS [1] S. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique New York 1962 l-l. Vlutz: Theorie und Praxis der Vakuum-Technik Braunschwiig 1965 VI. Gaede: Ann. Phys. 41 289 1913 u~d 46 357 1915 sowie Z. Techn. Phys. 4 337 1923 [4] J. Langrn. uir Phys. Rev. 8 48 191r; Gen. EI. ~ev. 10 1060 1916; Electr~an 79 13 und 579 1917 R. Jaeckel [ 5 J Zs. Haturforsch 2 A. 666 1947 und: l\leinste Drucke ihre Messung und Erzeugung Berlin Göttingen Heidelberg 1950 [6J M. Matricon J. Phys. Rad 2 86 1931 und 3 127 1932 [7J Vgl. z. B. P. Frank und R. v. llises: Differentialgleichungen der Mechanik und Physik Band 11 S. 593 New York und Braunschweig 1961 73 Vgl. z. B. D. Enskog: Phys. Z. 12 5 und 33 1911 [ 8 J oder R. D. Present: Kinetic Theory of Gases New York 1958 [9] H. G. Nöller Zs. für angew. Physik 7 225 1955 [10J H. G. Nöller Theory of Vacuum Diffusions Pumps in IIandbook of Vacuum Phsics Vol. I Part.