Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik Note: 1 Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik) Sprache: Deutsch Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan durch den Einsatz von Hot-Chuck's noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.