Produkcja cienkich warstw tlenku cynku metodą pirolizy natryskowej

W niniejszej pracy zademonstrowano rozwój kilku serii cienkich warstw tlenku cynku metodą pirolizy natryskowej w różnych warunkach osadzania. Opisano również różne techniki zastosowane (profilometr dyfrakcja rentgenowska spektrofotometria UV-Visible elipsometr anulujący i technika dwóch końcówek w konfiguracji koplanarnej) do badania właściwości strukturalnych optycznych i elektrycznych tych warstw (grubość warstwy wielkość ziarna naprężenia współczynnik załamania światła przerwa pasmowa parametr Urbacha przewodnictwo elektryczne i energia aktywacji). Otrzymane warstwy są polikrystaliczne z pojedynczą heksagonalną strukturą fazową würtzite. Analiza widm transmitancji i wzrost przewodności wraz z temperaturą pomiaru pokazują że możliwe jest uzyskanie przezroczystych półprzewodzących cienkich warstw ZnO.