PROJEKTOWANIE ANALIZA I SYNTEZA CZUJNIKA WSPÓŁGAZU Z WYKORZYSTANIEM TECHNOLOGII MEMS

Niniejsza książka przedstawia projekt analizę i syntezę czujnika tlenku węgla na bazie krzemu z wykorzystaniem technologii MEMS. Nacisk położono na badanie wpływu temperatury mikropłytki na zmiany mocy ponieważ analit jest wrażliwy na określony gaz w wysokiej temperaturze. Ogólnym podejściem zastosowanym w tej pracy jest zbadanie możliwości wykorzystania mikropłytki do wykrywania gazu. W celu ukończenia projektu czujnika analiza jest istotną częścią ponieważ pokazuje rozkład temperatury w mikropłytce. Realizując cel książki zaprojektowano i zasymulowano krzemowy czujnik tlenku węgla do wykrywania substancji chemicznych. Folia czujnikowa stosowana do wykrywania tlenku węgla to folia z tlenku cyny. Jest ona szeroko stosowana w czujnikach gazu ponieważ jest wrażliwa na określony gaz w wysokich temperaturach. Aby osiągnąć tak wysoką temperaturę pracy opracowano mikrostrukturę zwaną mikro-płytką.