Revêtements interférentiels pour l''optique extrême uv

L''élaboration de nouveaux revêtements interférentiels multicouches est motivée par la demande de l''astrophysique solaire et par le développement de nouvelles sources de rayons EUV (source à génération d''harmoniques d''ordre élevé laser X rayonnement synchrotron). Nous avons étudié et développé différents systèmes multicouches possédant à la fois des propriétés optiques optimisées (réflectivité et/ou bande passante) et une bonne stabilité temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d''onde comprise entre =30 nm et =50 nm. Une augmentation significative de la réflectivité des multicouches dans la gamme spectrale de 30 à 40 nm a été obtenue par l''addition d''un troisième matériau dans l''empilement. Nous montrons également que l''utilisation de ces multicouches à trois matériaux par période permet le développement d''empilements répondant à des demandes spécifiques (miroirs à large bande passante miroirs à double bande). Pour les longueurs d''ondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons développé des multicouches à base de scandium.