Silizium-Halbleitertechnologie

Das vorliegende Studien skript Silizium-Halbleitertechnologie ist aus der Vorlesung Halbleitertechnologie entstanden die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universität Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Prozeßtechnik berücksichtigen zu können ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra- tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es den Studenten der Elektrotechnik Informatik Physik aber auch den Schaltungstechnikem und den Ingenieuren in der Prozeßtechnik die Realisierung und den Aufbau integrierter Schal- tungen zu veranschaulichen. Es umfaßt die Kristallherstellung die ver- schiedenen Prozeßschritte der Planartechnik und die Montagetechnik für integrierte Schaltungen. Ergänzend dazu sind grundlegende weiter- führende Integrationstechniken berücksichtigt worden um dem interes- sierten Leser die Verfahren der Höchstintegration verständlich darlegen zu können. Die Übungsaufgaben sollen zur Überprüfung des Verständ- nisses dienen und gleichzeitig dazu beitragen die Größenordnungen der verwendeten Parameter abschätzen zu können. Eigene Erfahrungen aus der CMOS-Technologielinie des Lehrstuhls Bauelemente der Elektrotechnik / Arbeitsgebiet Mikroelektronik der Universität Dortmund runden den Inhalt des Buches ab. An dieser Stelle möchte ich Herrn Prof. K. Schumacher herzlich für die gewissen- hafte Ausarbeitung der Unterlagen zur Vorlesung Halbleitertechnolo- gie danken die als Grundlage für dieses Buch dienten. Für die Durch- sicht der Druckvorlage danke ich Herrn Dipl.-Ing. John T. Horstmann. Mein Dank gilt auch Herrn Prof. K. Goser für die Möglichkeit dieses Buch zu verfassen. Ganz herzlich danke ich meiner Familie für ihre Unterstützung während der zeitintensiven Ausarbeitung der Unterlagen.