VLSI-Schaltungsbearbeitungs-technologie

VLSI (Very Large Scale Integration) Designaktivitäten sind der Schlüssel zum erfolgreichen Einführen vieler neuer Produkte. VLSI-Designaktivitäten verzeichnen ein jährliches Wachstum von über 20 %. Die Erfolgsquote von VLSI-Design wird jedoch durch Faktoren wie die Verringerung geometrischer Merkmale und die Integration analoger digitaler und HF-Funktionsmodule beeinträchtigt. Die VLSI-Schaltungsbearbeitungstechnologie ist die einzige vielversprechende Lösung um technologische Lösungen zur Bestätigung und Validierung von Fehlern im Zusammenhang mit dem VLSI-Design zu bieten. Das Buch enthält eine kurze Beschreibung des fokussierten Ionenstrahlsystems und seines Zubehörs mit denen die Schaltungsbearbeitungstechnologie implementiert wird. Es werden Methoden für die VLSI-Schaltungsbearbeitung beschrieben. Dazu gehören die Entkapselung von ICs die Entfernung von Polyimid das Schneiden von Metallen die Metallabscheidung usw. Einige der neuartigen Techniken die für die VLSI-Schaltungsbearbeitung entwickelt wurden werden beschrieben. Das Buch zeigt auch verschiedene neue Herausforderungen in diesem Bereich auf. Diese Herausforderungen müssen in Zukunft angegangen werden um die VLSI-Schaltungsbearbeitung weiterzuentwickeln und Lösungen anzubieten. Die Halbleiterindustrie kann nur mit der erfolgreichen Implementierung der VLSI-Schaltungsbearbeitung überleben und wachsen.